1 сентября 2017 года на базе кафедры микроэлектроники, ее научных подразделений и кафедры технической механики был создан Институт нано- и микросистемной техники.
Миссия Института заключается в развитии образовательного и научного (научно-технического, производственного) процесса и соответствующей профессиональной среды для создания перспективных конструкций и технологий элементов и компонентов микроэлектроники, нано и микросистемной техники, робототехники (мехатроники), вычислительных средств и т.п. и подготовке кадров по направлениям обучения, соответствующим направлениям деятельности института, основанной на принципе вовлечения обучающихся в научную и проектную деятельность под руководством ведущих ученых и конструкторов отрасли.
В Институте НМСТ реализуется подготовка бакалавров и магистров по направлению «Конструирование и технология электронных средств».
Институт НМСТ осуществляет исследование, разработку и внедрение в серийное производство различных сенсорных устройств и систем на их основе.
История Института
Кафедра микроэлектроники (МЭ) создана в 1967 г. для преподавания на первых факультетах МИЭТ (МПиТК, ФТ, ФХ и ЭМ) учебных дисциплин по конструкторско-технологическим основам создания и практическому применению изделий и технологий микроэлектроники с целью комплексной миниатюризации электронной аппаратуры.
Первый выпуск инженеров состоялся в 1979 году.
С 1973 г. кафедра МЭ стала выпускающей по подготовке специалистов в области конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры (факультет МП и ТК).
В 1967-1970 гг. кафедрой МЭ заведовал один из создателей отечественной микроэлектроники, заместитель директора по науке – главный инженер Научного центра микроэлектроники в г.Зеленограде, д.т.н., профессор, заслуженный деятель науки и техники РСФСР Ефимов И.Е. В 1970-1971 гг. кафедру МЭ возглавлял декан факультета МПиТК, к.т.н., доцент Самохвалов Г.К. В 1971-2001 гг. кафедрой руководил крупный специалист в области физики и технологии изделий микроэлектроники, заслуженный деятель науки РФ, д.т.н., профессор Коледов Л.А. С 2002 г. кафедру МЭ возглавлял д.т.н., профессор, лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники Тимошенков С.П.
С 2001 г. с образованием факультета ЭТМО (Электронных технологий, материалов и оборудования) кафедра МЭ вошла в его состав.
В 2004 г. произошло объединение кафедр МЭ и кафедры автоматизированные комплексы микроэлектроники (АКМ) под общим названием – кафедра микроэлектроники. Заведующий кафедрой - Тимошенков С.П.
Кафедра АКМ (первоначальное название – кафедра спецоборудования – СО) создана в 1968 г. на факультете ФХ и ЭМ (физико-химический и электронного машиностроения), которые в 1970 г. организовались в два самостоятельных факультета, и кафедра СО стала выпускающей кафедрой факультета ЭМ по направлению 210107 «Электронное машиностроение» для подготовки специалистов в области проектирования, производства и обслуживания технологического оборудования для изготовления интегральных микросхем.
С образования в 1968 г. до 1990 г. кафедрой АКМ руководил лауреат Государственной премии СССР, главный инженер НИИ точного машиностроения, д.т.н., профессор Блинов И.Г., с 1990 по 1995 г. – д.т.н., профессор Редин В.М., а с 1996 по 2004 г. – д.т.н., профессор Кандыба П.Е., лауреат Государственной премии РФ, Почетный работник электронной промышленности СССР, Почетный работник ВПО РФ. С 1998 г. кафедра АКМ одной из первых организовала трехуровневую подготовку, выпуская бакалавров, специалистов и магистров по программе «Электронное машиностроение».
1 сентября 2017 на базе кафедры микроэлектроники, ее научных подразделений и кафедры технической механики (ТМ) был создан Институт нано- и микросистемной техники.
Кафедра ТМ была организована в 1967 году. Кафедра технической механики была создана с целью общеинженерной подготовки специалистов в области механики материалов и конструкций радиоэлектронных средств, микроприборов, оборудования электронной техники и в области технических измерений, метрологии, технического регулирования, стандартизации и подтверждения соответствия (заведующие кафедрой - д.т.н., профессор Е.П. Солдаткин (1967-1975), к.т.н., профессор С.В. Бояршинов (1975-1977), Герой Социалистического Труда, к.т.н., доцент В.С. Сергеев (1977-1987), лауреат Государственной премии СССР, д.т.н., профессор Н.В. Гревцев (1988-1997). д.т.н., профессор А.И. Погалов (1997- 2017).
